第308章 已经存在的光刻机联盟(4/5)
“但是再多的钱也没办法解决技术上的问题,我们的研发团队一直在和那些技术供应商进行沟通,想试图解决光源问题。”
“中科院那边给出了一个准分子激光光源,这个系统只能说还能用,但是对我们45纳米的项目却没有任何作用。”
对于光源,陈尘多少还是了解一点的,那就是duv和euv光刻机的区别。
前者的duv光刻机用的就是准分子激光光源,波长也只能达到193纳米,所以魔都微电这边在进行45纳米光刻机研发时,准分子激光光源没什么作用。
因为duv想做到45纳米的精度,难度实在太大,以魔都微电的能力根本就做不到,必须要用euv才行。
“陈总,不瞒您说,其实咱们华夏的光刻机联盟是已经成立了。”旁边的蔡永芯说道。
“已经成立了?什么时候的事,我怎么一点消息都不知道。”陈尘一脸诧异,这自己要成立的光刻机联盟,早就存在了?
“哈哈,陈总进入半导体行业时间不长,所以可能不太了解。”
“蔡总,你和陈总说一下吧。”
蔡永芯放下茶杯,对陈尘解释道:“陈总,其实早在2012年我们就已经加大开始对光刻机方面的投入,由上层进行接洽和联合,我们这些半导体产业的公司分别负责不同的方面,全力支持魔都微电进行光刻机研发。”
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