第310章、一代光刻机（4/5）

现在各种高精密数控机床等设备也陆续进厂安装。近期就可以投入芯片生产线设备的部分零部件。

京城电子厂二期与鹭岛、蓉城三家精密加工厂，基本能满足所有零部件生产所需。这样分散加工，也有利于设备的保密工作。当然，其中还是有一些核心元器件及超精密部件这三家也无法生产，就需由马由的私人实验室完成。

因为有星儿这个超级大脑来将图纸分解、生产计划安排。这些工作都能有条不紊、合理落实。

自主研发芯片生产线设备，他有两种技术路线。

其中计划

其一，还是仿前世资料中记载的原来发展路径，也就是现在西方国家正在走的道路。这些设备他将用到德国、弘崆（含鹏城）两处foundry（代工厂）模式的工厂里。当然，始终要保持与其他晶圆企业领先2个代差。

第二，则是放在蓉城晶圆工厂内使用的全新型号生产线。这是放弃前世芯片生产线那种复杂工序，以及配套的众多昂贵设备。完全是一体化、全智能控制的生产线。生产效率可提高了300，良品率更低提升到996。