八十三、光刻机的好消息（2/5）

当然，这台光刻机仍然有着一定的问题，那就是无法批量生产，不过光刻机制造慢也是正常的，这倒是没什么。

徐光亮因此请了假来到了传统光刻机实验室，进了实验室就看到众人正在进行芯片的试制工作。

他跟着众人等了一会，看着数张晶圆被消耗，众人后续处理后，进行测试，统计了一下成功率，大约有60的成功率，这代表着仍然需要继续调整，不过既然有了60的成功率，那么针对性调整，必然能够慢慢提高成功率。

看到这，他心中有数了，虽然现在仍然算不上什么成功，但是对于其他人来说这已经是了不起的进步了，而且这也说明22纳米的技术的确是掌握了，剩下的就是调校问题了。

徐光亮看完了整个过程，看看时间已经不早了，于是叫来负责人并告诉他，一旦22纳米真的成熟了，那么就可以统计发奖金了。

负责人也很激动，表示肯定完成任务。

看完了现场试验，他就开始看了一些技术文件，这些文件都是他们在安装过程中产生的解决方案。

在查看资料的时候，他注意到还有两个部门给予了支持，一个是刚才所说的机床厂，一个就是数学应用研究室的成果。