第74章 抓安全生产工作（3/5）

说完，汪正评还向孟婉池他们介绍了晶圆厂内走廊顶端的自动运输系统。

晶圆厂是使用自动化材料处理系统的自动化工厂。为此，芯片在一种称为前端开启式晶圆传送盒fou的封闭容器中进行加工和运输。使用高架式芯片运输车oht系统将fou从一组设备运送到另一组。据汪正评说，在大型晶圆厂中，oht轨道可以长达7公里，可容纳上百辆汽车。

此时自动化材料处理系统ahs正在以每小时8公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输，24小时不停歇。

u能携带6片3寸晶圆，在数公里的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序。目前整个工厂员工总数约有1700人，以轮班制维持24小时生产线运作。

生产线上可以看到有很多身穿无尘衣的技术人员在忙碌着，石莫还和一线作业员进行了短暂的交流，询问生产的相关情况。